我们的解决方法:
CS-20NG是一种技术水平很高的XYZ校准标准的纳米格栅;适用这种纳米格栅的时候就可以校准到纳米级。CS-20NG是一种 5x5mm硅芯片,在芯片上有一批二氧化硅结构。我们的制造过程保证芯片上结构的完好均匀性。反过来,这保证您AFM系统简单又可靠的X、Y、Z等轴线校准。
校准范围位于芯片中心,可以很快通过AFM光学显微镜系统来找到。
结构的台阶高度为20nm左右,包装盒上的标志都有每一个芯片上的具体数值。芯片上的不同形状、斜度结构都使成整体。大的正方(1x1mm)包括10 um间距的正方形柱子和洞。中的正方包括原形的柱子和洞,同时还包括5 um间距的往X、Y方向的线。小的正方包括500 nm间距的圆形洞。
CS-20NG适合用于横向的、竖向的AFM扫描校准。因为结构的匀称性,校准您AFM系统的时候您不再需要将样品旋转在X、Y轴线校准中间;再说,只需要一步就完成校准过程。我们使用质量高大的导电环氧树脂把CS-20NG芯片贴在12mm金属圆盘上,这样,产品到达了客户之后就可以直接地使用。
技术参数概况:
尺寸:
5x5mm
台阶高度:
~20nm, 每一个包装盒上的标志都有具体的数值
结构几何:
- 1x1mm的正方上每10 um间距有正方形柱子和洞
- 500x500 um的正方上每5 um间距有圆形柱子和洞,还有X、Y方向的线
- 100x100 um的正方上每500 um间距有圆形的洞