|
|
 |
All-In-One AFM 探针 |
| 适用范围: |
不同的测量形式
|
| 概述: |
旋转单片硅探针
对称的针尖形状
芯片规格:3.4 x 1.6 x 0.3 mm |
| 涂层: |
无 |
| 技术数据: |
这种探针使用“扫描角度”的对称针尖,以便使200nm以上的外形有更匀称的表现。
|
|
All-in-One探针一共有四种不同几何形状的悬臂,能用于所有的测量形式:接触式、力调式、软半接触式、半接触式。这些样式的共振频率和力常数跟已被广泛接受的产品Contact、 Multi75、 Tap150-G、 Tap300等相似。
用于接触式的长悬臂A和用于力调式的长悬臂B处于芯片的界限,用于软半接触式的短悬臂C和用于板接触式的短悬臂D处于相对的地方。在短悬臂的端点有肉眼能看见的梯形。
|
| 悬臂 |
适用范围 |
谐振频率,
力常数像 |
技术数据 |
平均数值 |
变化 范围 |
| A |
接触式 |
Contact |
长度 |
| 500 μm |
+/- 10 μm |
| 平均宽度 |
| 30 μm |
+/- 5 μm |
| 厚度 |
| 2.7 μm |
+/- 1 μm |
|
| B |
力调式 |
Multi75 |
长度 |
| 210 μm |
+/- 10 μm |
| 平均宽度 |
| 30 μm |
+/- 5 μm |
| 厚度 |
| 2.7 μm |
+/- 1 μm |
|
| C |
软半接触式、
间歇式 |
Tap150-G |
长度 |
| 150 μm |
+/- 10 μm |
| 平均宽度 |
| 30 μm |
+/- 5 μm |
| 厚度 |
| 2.7 μm |
+/- 1 μm |
|
| D |
接触式、间歇式 |
Tap300 |
长度 |
| 100 μm |
+/- 10 μm |
| 平均宽度 |
| 50 μm |
+/- 5 μm |
| 厚度 |
| 2.7 μm |
+/- 1 μm |
|
|
|
|