Nuestra solución:

HS-100MG representa un conjunto de estructuras de Dióxido de Silicio sobre la superficie de un chip de Silicio con dimensiones de 5 por 5 milímetros. El proceso de fabricación garantiza una perfecta uniformidad de las estructuras del chip, lo que permite una calibración fácil y fiable  del eje Z de su sistema de AFM.

El área  de calibración está situada en el centro del chip y se puede encontrar fácilmente con el sistema óptico de la AFM. La altura de las estructuras es aproximadamente 100 manómetros. El valor exacto queda indicado sobre la etiqueta de la caja. Sobre el chip están integrados conjuntos de estructuras de formas e intervalos diferentes. El cuadro mayor (1x1mm) contiene pilares cuadrados y orificios con intervalos de 10 micrones. El menor cuadro (500x500 micrones) contiene pilares circulares y orificios, así como líneas con dirección X e Y con intervalos de 5 micrones.

Además la  calibración del eje Z, este diseño permite también una calibración de los ejes X e Y para los mayores escáneres (40-100 micrones). Además, la simetría de las estructuras hace posible la calibración de su sistema de AFM sin la necesidad de rodar y realinear el estándar entre les calibrados de X e Y.

El chip de HS-100MG está pegado sobre un disco metálico  de 12 mm con resina epoxi de alta calidad y conductora de electricidad y está listo para el uso tal como está.