La punta de AFM es una sonda monolítica de silicio fabricada con microfabricación con una perfecta uniformidad y punta muy aguda. La dimensión del radio de la punta que es de menos de 10 nm ofrece una buena resolución y reproducción de los detalles de la imagen.

Esta sonda utilisa la punta simétrica con "un ángulo de barrido" para proporcinar una representación más clara de los detalles de más de 200 nm.